Offer Craidd Llinell Gynhyrchu Awtomataidd Glanhau Cysylltiadau Cyhoeddus ar gyfer Cynhyrchwyr Arddangos LCD
Mae llinell gynhyrchu awtomataidd glanhau PR (photoresist) yn offer proses gwlyb craidd mewn gweithgynhyrchu arddangos LCD. Fe'i defnyddir yn bennaf ar ôl y broses ffotolithograffeg ar y swbstrad arae i gael gwared yn drylwyr ar ffotoresydd gweddilliol, gweddillion ysgythru, a microhalogwyr arwyneb. Mae'n offer hanfodol ar gyfer sicrhau cywirdeb cylched panel a gwella cynnyrch cynnyrch. Yn berffaith addas ar gyfer amgylchedd cynhyrchu llym ystafell lân Dosbarth 100, mae'n cyflawni gweithrediadau glanhau dolen gaeedig uchel, awtomataidd a manwl iawn.
Gan dargedu'r gweddillion ffotoresistiaid positif a negyddol ar ôl y broses ffotolithograffeg, mae'n defnyddio proses glanhau ultrasonic aml-gyfnod + rinsio gorlif dŵr pur i gael gwared â malurion, halogion organig, gronynnau llwch ac amhureddau eraill sy'n weddill ar ôl ysgythru ffotolithograffeg yn ddwfn. Gall gael gwared ar weddillion microsgopig o dan 0.5μm yn drylwyr, gan atal diffygion megis cylchedau agored panel, smotiau llachar, a smotiau Mura a achosir gan amhureddau. Wedi'i gyfuno â system hidlo manwl 0.1μm o uchder, mae'n atal halogiad eilaidd. Mae'n cael gwared yn drylwyr, heb ddifrod, gan osgoi effaith haenau gludiog gweddilliol ar brosesau ysgythru a chaenu dilynol, gyda chyfradd gorchudd symud o 100%.
Mae'r modiwl rheoli electrostatig ESD adeiledig yn rheoli'r gwerth electrostatig yn llym o fewn yr ystod Llai na neu'n hafal i ±100V. Wedi'i gyfuno â'r gwrth-{3}}deunydd statig ceudod a thechnoleg danfon olwynion magnetig di-gyswllt, mae'n osgoi gollwng electrostatig rhag niweidio cylchedwaith manwl y panel, tra hefyd yn atal crafiadau, naddu a chynhyrchu llwch rhag ffrithiant ar y swbstrad gwydr, a thrwy hynny sicrhau'r amddiffyniad mwyaf posibl o gyfanrwydd y swbstrad.
Siambr prawf tymheredd cyson tymheredd uchel ac isel
Mae craidd yr offer llinell gynhyrchu glanhau a sychu awtomataidd ar gyfer gweithgynhyrchwyr sgrin LCD yn integreiddio dull sychu deuol: torri cyllell aer a sychu aer poeth tymheredd cyson. Mae hyn yn tynnu staeniau dŵr o wyneb y swbstrad yn gyflym, gan sicrhau dyfrnod-rhydd ac olrhain-sychu rhydd. Ar ôl sychu, mae cynnwys lleithder wyneb y swbstrad yn agosáu at sero, gan ganiatáu trosglwyddo'n uniongyrchol i'r broses nesaf heb brosesu eilaidd, gan sicrhau parhad proses. Mae system reoli PLC yn galluogi gweithrediad dolen gaeedig gwbl awtomatig o ran llwytho, lleoli, glanhau a dadlwytho. Mae'n cefnogi swyddogaethau monitro a larwm amser real ar gyfer addasu crynodiad toddiant glanhau, tymheredd, lleithder a glendid. Mae dyluniad y siambr wedi'i selio a graddiant pwysedd negyddol yn atal gollyngiadau nwy cemegol. Wedi'i gyfuno ag amgylchedd pwysau cadarnhaol ystafell lân Dosbarth 100, mae hefyd yn galluogi ailgylchu dŵr pur iawn a dosbarthu ac adennill hylif gwastraff, gan fodloni gofynion arbed ynni a diogelu'r amgylchedd.
O'i gymharu â glanhau â llaw traddodiadol, mae gan linellau cynhyrchu glanhau cysylltiadau cyhoeddus cwbl awtomataidd fanteision na ellir eu hadnewyddu: mae effeithlonrwydd glanhau yn cynyddu fwy na 3 gwaith, a gellir prosesu bron i 10,000 o swbstradau gwydr fesul shifft, gan fyrhau'r cylch proses yn sylweddol; mae'r cysondeb glanhau yn ardderchog, gan ddileu gweddillion micro sy'n llai na 0.5μm yn drylwyr, gan reoli cyfradd diffygion y panel o fewn 0.5PPM, gan osgoi diffygion fel smotiau llachar, smotiau tywyll, a thoriadau cylched ar y sgrin yn effeithiol; mae'r offer yn mabwysiadu cynllun arbed dŵr ac ynni, gyda chyfradd adennill dŵr pur uchel a chasglu a thrin dŵr gwastraff dosbarthedig, sy'n bodloni gofynion cynhyrchu diogelu'r amgylchedd; mae'r peiriant cyfan wedi'i wneud o ddur di-staen PVC sy'n gwrthsefyll cyrydiad a SUS304, gyda selio cryf, glanhau a chynnal a chadw hawdd, ac mae'n addas ar gyfer gweithrediad parhaus 24 awr mewn ystafelloedd glân, gan ddod yn offer safonol ar gyfer gweithgynhyrchwyr sgrin LCD i adeiladu llinellau cynnyrch pen uchel a gwella cystadleurwydd craidd.
Offer Craidd yng Ngweithdy Ffotolithograffeg Cynhyrchwyr Arddangos LCD
Yr offer datguddiad yw'r offer craidd yn y gweithdy ffotolithograffeg ac mae'n faes proses allweddol yn y broses weithgynhyrchu arae LCD. Fe'i gelwir hefyd yn beiriant lithograffeg panel, mae'n ddyfais proses wlyb optegol fanwl uchel. Ei brif swyddogaeth yw trosglwyddo patrwm dylunio cylched y swbstrad i swbstrad gwydr wedi'i orchuddio â ffotoresydd trwy ddatguddiad optegol, sy'n hanfodol ar gyfer ffurfio micro-gylchedau yn y panel. Trosglwyddiad manwl gywir y patrwm cylched o'r mwgwd ffoto i'r swbstrad gwydr yw'r rhagofyniad ar gyfer prosesau ysgythru, cotio a glanhau cysylltiadau cyhoeddus dilynol, gan bennu ansawdd y sgrin arddangos yn uniongyrchol. Mae'r offer yn defnyddio proses amlygiad di-gyswllt, sy'n addas ar gyfer swbstradau gwydr LCD tenau o faint mawr, gan osgoi crafiadau swbstrad, difrod a halogiad.
Mae'r uchafbwyntiau technolegol craidd yn cynnwys system alinio manwl uchel gyda lefel micron neu hyd yn oed is-micron-cywirdeb troshaenu lefel, gan sicrhau dim aliniad mewn pentyrru cylched amlhaenog gyda gwallau wedi'u rheoli o fewn ychydig filfedau o ddiamedr gwallt; y defnydd o ffynhonnell golau amlygiad unffurf a thechnoleg canolbwyntio deinamig i gyflawni amrywiadau ynni amlygiad o<±3% on large-size substrates of several square meters, guaranteeing pattern consistency; a vacuum adsorption substrate platform to effectively suppress substrate deformation and improve exposure pass rate; and a PLC intelligent control system to achieve fully automated substrate loading, pre-alignment, exposure, and unloading, supporting online parameter monitoring, anomaly alarms, and data traceability, suitable for 24-hour continuous mass production.
Mae'r gweithdy cyfan yn defnyddio ffynhonnell golau melyn monocromatig 589nm, gan hidlo golau tonfedd byr fel golau uwchfioled, glas a gwyn yn gyfan gwbl, gan atal y pelydrau hyn rhag sbarduno adweithiau ffotocemegol yn y ffotoresydd yn gynamserol, gan achosi diffygion angheuol megis camlinio patrwm, llinellau anghyflawn, cylchedau byr, a chylchedau agored. Mae'r system oleuo'n defnyddio cyfuniad o LEDau melyn pwrpasol a -hidlwyr haen dwbl i atal golau strae rhag gollwng; mae drysau, ffenestri a ffenestri arsylwi yn cynnwys deunyddiau hidlo gwrth-uwchfioled; Mae ffonau symudol, camerâu, goleuadau fflach pŵer uchel a ffynonellau golau allanol eraill wedi'u gwahardd yn llym y tu mewn i'r gweithdy, a gweithredir rheolaeth disgyblaeth golau ardal lawn i ddileu'r risg o amlygiad cynamserol i ffotoresistiaid o'r ffynhonnell.
Cyflwyniad i Ystafelloedd Glanhau Dosbarth 100 ar gyfer Cynhyrchwyr Arddangos LCD
Ym maes gweithgynhyrchu LCD manylder uchel, ystafelloedd glân Dosbarth 100 (ystafelloedd glân Dosbarth 5 ISO) yw'r cyfleuster cynhyrchu craidd ac maent yn ddangosydd allweddol o gryfder technegol gwneuthurwr a chynnyrch y cynnyrch. Fe'u defnyddir yn eang mewn camau proses craidd megis arae, cydosod celloedd, a phecynnu modiwlau gan gwmnïau arddangos blaenllaw fel BOE, TCL CSOT, HKC, a Tianma. Mae gan yr ystafelloedd glân hyn safonau glanweithdra llym, gyda dim mwy na 100 o ronynnau llwch crog Yn fwy na neu'n hafal i 0.5μm mewn diamedr fesul troedfedd ciwbig o aer (Llai na neu'n hafal i 3520 y metr ciwbig). Mae'r lefel glendid hon yn llawer uwch na lefel ystafelloedd llawdriniaeth feddygol, gan wasanaethu fel "rhwystr craidd caled" i atal llwch, trydan statig, a halogion cemegol rhag ymyrryd â phrosesau manwl gywir. Mae'n elfen caledwedd graidd sy'n pennu'n uniongyrchol ansawdd delwedd y sgrin, hyd oes, a chyfradd cynnyrch.
Mae'r gweithdy wedi'i ddylunio a'i adeiladu'n llym yn unol â safonau rhyngwladol a domestig ISO. Mae'n mabwysiadu modd llif aer uncyfeiriad fertigol, ynghyd â system hidlo ULPA pedwar cam (hidlydd cyn-, hidlydd effeithlonrwydd canolig, hidlydd effeithlonrwydd uchel a ffilter effeithlonrwydd uwch-uchel), gan sicrhau effeithlonrwydd hidlo o hyd at 99% ar unwaith a thynnu llwch. parthau marw llif aer. Ar yr un pryd, cyflawnir rheolaeth amgylcheddol fanwl gywir ar draws pob dimensiwn: tymheredd cyson o 23 ± 1 gradd, lleithder cymharol wedi'i reoli ar 45%-55%, cyflwr pwysedd cadarnhaol a gynhelir yn yr ardal lân, a gwahaniaeth pwysedd yn fwy na neu'n hafal i 10Pa rhwng ardaloedd cyfagos, gan atal ymdreiddiad llwch allanol yn llwyr; o ystyried tueddiad paneli arddangos i ddifrod electrostatig, defnyddir lloriau lefelu gwrth-hunan epocsi statig-, a defnyddir 304 o blatiau dur gwrthstaen a lliw ystafell lân ar gyfer waliau a nenfydau, gyda rheolaeth lem ar werthoedd trydan statig drwy gydol y broses; darperir rheolaeth ychwanegol ar gyfer llygryddion cemegol lefel moleciwlaidd VOC ac ymyrraeth gudd megis micro-dirgryniadau, gan fodloni gofynion prosesau nanoraddfa fel ffotolithograffeg, dyddodiad ffilm denau, a chwistrelliad crisial hylifol.
Mae'r gweithdy yn mabwysiadu dyluniad parthau ystafell lân haenog, wedi'i rannu'n ardal graidd Dosbarth 100, ardal glustogi Dosbarth 1000, ac ardal ategol Dosbarth 10,000, gyda haenau sy'n atal croeshalogi, ac mae personél a llinellau cludo deunydd awtomataidd wedi'u gwahanu'n llwyr. Rhaid i bersonél fynd trwy broses driphlyg o newid dillad, cawod aer, a chanfod electrostatig, a dim ond ar ôl gwisgo siwt ystafell lanhau corff lawn, menig rhydd o lwch, a gogls y gallant fynd i mewn; mae deunyddiau'n cael eu trosglwyddo trwy ffenestri trosglwyddo cyd-gloi ac yn cael triniaeth tynnu llwch a thrydan sefydlog; mae'r tu mewn wedi'i gyfarparu â chyflau llif laminaidd FFU, cownteri gronynnau ar-lein, synwyryddion tymheredd a lleithder, monitorau pwysau gwahaniaethol, ac offer arall i gyflawni monitro amser real ac olrhain data 24- awr, a bydd yn cyhoeddi rhybuddion ar unwaith ac yn gwneud addasiadau rhag ofn y bydd dangosyddion annormal i sicrhau sefydlogrwydd amgylcheddol parhaus.
